ファインバブルの活用事例

太陽電池のシリコンウェハー（以下「ウェハー」という）は、シリコンの塊（インゴット）を薄くスライスして造られ、それらが積み重なった状態で次の工程に供給されます。供給されたウェハーは加工のために１枚ずつ分離する必要がありますが、近年コストダウンのための技術向上により、急速に薄膜化（厚さ数百ミクロン）が進んでいます。この薄膜化が進めば進むほど、分離工程でウェハーが割れ、歩留まりに大きく影響していました。

その解決手段として、ウルトラファインバブル（UFB）が微細な隙間に入り込みやすいという性質が活用されています。供給されたウェハーの塊（ウェハーが積み重なった状態）に一定割合のマイクロバブル（MB）とUFBを供給すると、ナノサイズのUFBがウェハーの隙間に入り込んでギャップを広げるとともに、引き続きサイズの大きなMBが入り込んで１枚１枚を簡単に分離することができるのです。ウェハーは、その後１枚ずつ搬出されますが、各ウェハーの隙間に形成されたバブル層がクッションの役割を果たしています。

出典：経済産業省 九州経済産業局 『ファインバブル活用事例集』 2018

酸素ガスで微生物を活性させて処理を促進
既存処理設備の大幅な改造をせず設置可能

できること

1. 排水処理設備の能力増強
2. 余剰汚泥発生量削減
3. 悪臭発生抑制

炭酸ガスでセメント工事現場のアルカリ性排水を中和
効率的なガス溶解とガス量自動制御で処理可能

できること

1. 炭酸ガス使用量の削減
2. 安定的連続処理

オゾンの酸化力で難分解性物質を易分解化
難分解性物質の河川・湖への排出を抑制

できること

1. 易分解化
2. 環境負荷低減